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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法

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氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法

发布日期:2018-09-21 作者:迪泰真空 点击:

灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。① 氦质谱检漏仪灵敏度及其校准
       氦质谱检漏仪系统的灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率,记为qL,min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值, 被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气,仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min 内输出仪表的最大波动量。
       如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流),或用累积法检漏时,给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度),记为Y min,能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率q L,a,则仪器浓度灵敏度应为
       反应时间、清除时间及其测定:
       反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输出仪表讯号上升到最大值的(1- e-1)倍(即0.63)所需要的时间,记为TR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后,停止送氦, 其讯号下降到最大值的e-1倍(即0.37)所需要的时间,记为TC。
工作真空、极限真空及入口处抽速:
       质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

对真空漏率要求较高的大容器检漏一般采用氦质谱真空检漏,此时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。要充分发挥检漏仪的能力,以求得尽可能高的检漏灵敏度,必须对辅助真空系统进行合理设计。下面通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在本套真空系统中的连接方式。

通过对检漏仪的调节,能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速Sd保持一致,Qmin为系统参数一般不变,从式(1)和式(2)可看出qmin的高低取决于S1和S2的大小。在分流状态,有S2>>S1,即qmin1<qmin2。在次级泵启动进入稳定状态后,一般可将前级泵处节流阀关闭,即S1=0,由式(1)可知,此时qmin1=Qmin。而相同条件下,次级泵处阀门却不能完全断开,即S2>0,由式(2)可知,qmin2>Qmin,比较有qmin1<qmin2。在需对大容器抽高真空并要求检漏时,检漏仪接在前级侧时的系统检漏灵敏度高于接在高真空侧的检漏灵敏度。

氦质谱检漏仪原理


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